激光干涉仪与计量检测

随着计算机和电子技术的飞速发展，数控机床产业也有了长足进步，计量检测要求越来越高效化、精细化。那么如何评价数控机床质量好坏，精度高低就成为了重要的要素。激光干涉仪就是高效、准确检测数控机床、三坐标、测长机等的检测设备。

激光干涉仪以氦氖激光为载体，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量，是迄今公认的高精度，高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。激光干涉仪的使用，避免了传统人工检测效率低、准确性差、受人为因素干扰等缺点，具有高效、快捷、方便的特点。尤其是在计量检测领域，成为极致高效、难以替代的设备。

本案中，我们将介绍API XD Laser系列激光干涉仪在三坐标、位移传感器、测长机检测领域的应用特点和优势。

1、激光干涉仪测量三坐标示值误差

随着三坐标测量机技术的更新和发展，传统的测量检测手段已经难以满足大型三坐标测量机的检测要求，在实物标准器无法满足测量要求时，使用激光干涉仪进行位置示值误差检测。从而减少系统误差，保证三坐标测量机的稳定运行和测量数据的准确可靠。

图1：XD Laser激光干涉仪检测三坐标测量机

2、位移传感器检测

激光干涉仪检定位移传感器的应用已成为一大发展趋势，其特点是测量精度高，反应速度快，易于数字化测量。通常，设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比：即位移传感器自动检测系统与激光干涉仪定位进行测试对比，得出往复测试实验结果。

图2：XD Laser激光干涉仪检测位移传感器

3、检定测长机

测长机作为计量检测室里的主力设备，使用频率高，通用性强，需要定期进行检测。

传统的测长机分米刻度尺示值误差是用三等大量块及分段专用检具进行检定，该方法对环境要求高，标定方法繁琐，如何准确地标定测长机的分米刻度尺示值误差，是测长机检定中不可避免的问题。

利用激光干涉仪标定测长机的分米刻度尺示值误差，快捷，准确，可有效消除仪器温度及环境温度对检定结果的影响。

图3：XD Laser激光干涉仪检测测长机

API品牌XD Laser激光干涉仪应用特点

API品牌XD Laser系列激光干涉仪，根据用户的不同需求，分为1D/3D/5D/6D型号。

·         1D型号可一次测量：定位精度、重复定位精度、反向间隙；

·         3D型号可一次测量：定位精度、重复定位精度、反向间隙、导轨水平方向直线度、垂直方向直线度、两轴间垂直度（需五棱镜附件）；

·         5D型号可一次测量：定位精度、重复定位精度、反向间隙、导轨水平方向直线度、垂直方向直线度、两轴间垂直度（需五棱镜附件）、俯仰角、偏摆角；

·         6D型号可一次测量：定位精度、重复定位精度、反向间隙、导轨水平方向直线度、垂直方向直线度、两轴间垂直度（需五棱镜附件）、俯仰角、偏摆角、滚动角。

根据精度等级分为：精密型、标准型。

·         精密型精度：0.2μm；

·         标准型精度：0.5μm。

图4：API品牌XD Laser激光干涉仪

XD Laser激光干涉仪，结构简单，两点对光，用户容易掌握；一次调光可以测量多个参数，减少用户频繁更换镜组、调整光的工作量；所有参数都是一次测量产生，数据基础好，一致性高，二次开发时，数据可靠性得到保证；无需三脚架，有效避免外部振源对测量的影响，且携带方便。 

API品牌XD Laser激光干涉仪广泛应用在机床制造、航空航天、军工装备、计量检测、高校科研、职业培训、医疗器械、3C制造等领域，得到了广大用户的认可和好评。